CrystalSpruzzatore magnetico a tre bersagli

Modello:VTC-600-3HD

Panoramica del prodotto:

VTC-600-3HD tre bersaglio sputterizzatore magnetronico èzuiAttrezzature di rivestimento recentemente sviluppate, possono essere utilizzate per preparare film ferroelettrici a strato singolo o multiplo, film conduttore elettrico, film in lega, film semiconduttore, film ceramico, film multimediale, film ottico, film di ossido, film duro, film di politetrafluoroetilene, ecc. Rispetto alle apparecchiature simili, non solo è ampiamente utilizzato, ma ha anche il vantaggio di un piccolo volume per l'operazione, è un dispositivo ideale per la preparazione di film di materiale in laboratorio, particolarmente adatto per la ricerca di elettroliti a stato solido e OLED in laboratorio.

Caratteristiche principali:

• Possibilità di preparare diverse pellicole, ampie applicazioni
• Piccolo, facile da usare
• La camera a vuoto, la macchina di assemblaggio pompa a vuoto è progettata in modo modulare e l'alimentazione di controllo è progettata in modo diviso, in base alle esigenze reali dell'utente.
• Può essere scelto in base alle esigenze reali dell'utente, può essere controllato da un'alimentazione a più pistole di bersaglio, può anche essere controllato da più pistole di bersaglio a un'alimentazione singola

Testa di spruzzatura magnetronica：

• Nello strumento sono installate tre teste di sputteraggio magnetroniche, tutte dotate di un strato intermedio raffreddato ad acqua
• Una delle teste di sputtering è collegata all'alimentazione RF, principalmente sputtering bersaglio isolante
• Un'altra testa di sputtering è collegata all'alimentazione a corrente continua, principale bersaglio conduttivo sputtering
• Requisiti di dimensioni del bersaglio: diametro di 50mm, spessore 0,1-5mm (a causa dei diversi spessori del materiale bersaglio)
• Il cavo RF può essere ordinato separatamente come ricambio
• L'apparecchiatura contiene un raffreddatore ad acqua per il raffreddamento della testa bersaglio

Portacampioni：

• Dimensioni del portacampioni: φ140mm (zuiPosizionabile su una base di 4'
• Il portacampioni può ruotare a velocità da 1 a 20 giri al minuto (regolabile)
• PortacampionizuiAlta temperatura riscaldabile a 500 ℃

Cavità vuoto：

• Caverna a vuoto: φ300 mm x 300 mm H, in acciaio inossidabile
• Finestra di osservazione: Φ100 mm
• L'apertura della cavità utilizza l'apertura superiore, rendendo il cambio di bersaglio più facile

Controllatore di flusso di gas：

• 2 portatometri di massa installati all'interno dello strumento, con un raggio di misura: 0-100sccm
• Le impostazioni del flusso di gas possono essere utilizzate su un touchscreen da 6 pollici
• Il funzionamento del sistema richiede gas Ar e una valvola di riduzione della pressione (non inclusa nel dispositivo) è installata sul cilindro

Sistema di vuoto：

• Dotato di un sistema di pompa molecolare GZK-103D (fabbricato in Germania)
• Limite standard 5E-5mbar 7.4E-6mbar

Spessore della pellicola：

• Un misuratore di spessore di precisione al quarzo che monitora lo spessore della pellicola in tempo reale con una risoluzione di 0,10 Å
• Lo schermo LED mostra e inserisce anche i dati relativi alla pellicola prodotta

Dimensioni del prodotto：

• L1300mm×W660mm H1200mm
• Peso netto: 160 kg

CrystalSpruzzatore magnetico a tre bersagli

Modello:VTC-600-3HD

Certificazione di qualità:Certificazione CE

Usare suggerimenti：

• Questo dispositivo è un dispositivo fai da te, i parametri cambiano molto prima di acquistare assicurati di comunicare attentamente con il telefono
• Per ottenere una migliore qualità della pellicola, è necessario introdurre gas ad alta purezza (consigliato > 5N)
• Assicurare la pulizia della testa di spruzzo, del bersaglio, del substrato e del banco di campionamento prima della rivestimento
• Per ottenere una buona combinazione tra la pellicola e il substrato, pulire la superficie del substrato prima dello sputteraggio
• Pulizia ad ultrasuoni (per i parametri dettagliati fare clic sull'immagine di seguito): (1) acetone ad ultrasuoni (2) isopropanolo ad ultrasuoni - rimozione del grasso (3) soffiamento di azoto per l'asciugatura (4) forno a vuoto per rimuovere l'umidità.
• Pulizia al plasma: la superficie può essere rugosa, può attivare i legami chimici della superficie e rimuovere gli inquinanti in più.
• La fabbricazione di uno strato tampone sottile (circa 5 nm): come Gr, Ti, Mo, Ta, può essere applicato per migliorare l'aderenza dei metalli e delle leghe.

Avvertimento：

• Nota: I componenti ad alta tensione sono installati all'interno del prodotto, non è consentito il rimontaggio privato, il corpo mobile elettrico
• La valvola di riduzione della pressione deve essere installata sul cilindro del gas (non incluse le apparecchiature standard), per garantire che la pressione di uscita del gas sia limitata a 0,02 MPaDi seguito, per un uso sicuro
• La testa di sputtering è collegata ad alta tensione. Per motivi di sicurezza, l'operatore deve campionare e sostituire il bersaglio prima di spegnere il dispositivo.